Media: Zoeken naar nieuwe concepten buiten comfortzone gevestigde ontwerpprincipes
23 November 2021
[In Dutch]
Het onderzoeksproject ‘Advanced long-range piezoelectric wafer stage’ voor ASML is ruim twee jaar geleden van start gegaan onder de vlag van TUE’s High Tech Systems Center, en later ondergebracht en verruimd in de Eindhoven Engine. Dit artikel geeft een update van dit ALP-project, waarbij nieuwe concepten voor waferstages worden gezocht buiten de comfortzone van de gevestigde ontwerpprincipes. Het idee is dat juist door er compleet tegenin te gaan wellicht een potentiële route voor de toekomst wordt gevonden.
